Yüksek verimlilik üretimi için Endüstriyel Çift Başlı Dönüşme Kaplama Sistemi

Buözelleştirilebilir çift istasyonlu spin kaplayıcısilikon levhalar, cam ve polimer filmler gibi alt tabakalar üzerine yüksek verimli ince film biriktirmek için tasarlanmıştır. Mevcutaraştırma,temiz oda, Veendüstriyel üretimkonfigürasyonlar. Sistemtamamen özelleştirilebilirayna boyutu, sıkma hızı aralığı, program adımı sayısı ve dağıtım yönteminde. İki bağımsız istasyon eşzamanlı veya dönüşümlü çalışmaya olanak tanır; bir istasyon yükleme/boşaltma sırasında diğeri kaplama yapabilir, bu da verimliliği önemli ölçüde artırır. Yarı iletken, MEMS, optik ve baskılı elektronik endüstrilerinde fotorezist kaplama, sol-jel biriktirme ve bariyer katmanı uygulamaları için idealdir.

• Yarı iletken: Silikon plakalar, MEMS cihazları üzerinde fotorezist kaplama
• Optoelektronik: LED'ler, güneş pilleri, düz panel ekranlar için ince film biriktirme
• Malzeme bilimi: Sol-jel, polimer ve nanokompozit kaplamalar
• Biyomedikal: Biyosensör ve mikroakışkan cihaz imalatı
• Baskılı elektronik: Esnek yüzeyler üzerinde iletken mürekkep biriktirme
• Ambalajlama: Gıda kapları ve kağıt ürünleri üzerine bariyer kaplama

Bu çift istasyonlu döner kaplayıcıson derece özelleştirilebilirözel uygulama gereksinimlerinizi karşılamak için:

• Chuck tasarımı ve boyutu: 10 mm'den 450 mm'ye kadar alt tabakalar için özel olarak işlenmiş vakumlu aynalar
• Sıkma hızı aralığı: Ultra ince film uygulamaları için 15.000 rpm'ye kadar uzatılabilir
• İstasyon sayısı: Çoklu toplu işleme için 3 veya 4 istasyona genişletilebilir
• Dağıtım sistemi: Manuel, yarı otomatik veya servo kontrollü pompalarla tam otomatik
• Çevre kontrolü: Temiz oda (Class 10-100.000), inert gaz temizleme, nem kontrolü
• Termal entegrasyon: Dahili ısıtıcı plaka (300°C'ye kadar) veya UV kürleme modülü
• Otomasyon: Robotik yükleme/boşaltma, konveyör entegrasyonu, toplu işleme
• Muhafaza malzemesi: Solvente dayanıklı PTFE, paslanmaz çelik veya patlamaya dayanıklı tasarım

• Paralel işleme: İki istasyon bağımsız olarak çalışır - aynı anda kaplama ve yükleme, tek istasyonlu ünitelere kıyasla verimi iki katına çıkarır
• Bağımsız tarif kontrolü: Her istasyon aynı anda farklı malzemeleri veya döndürme parametrelerini çalıştırır
• Yüksek hassasiyet: Olağanüstü homojenlik için ±1 rpm stabilitesine sahip fırçasız DC veya servo motor
• Kimyasallara dayanıklı hazne: Temiz oda uyumluluğu için solvente dayanıklı kaplamalı paslanmaz çelik yapı
• Güvenlik kilitleri: Her istasyonda kapak kilidi ve acil durdurma
• Veri izlenebilirliği: Tarif saklama, gerçek zamanlı izleme, USB/Ethernet aktarımı (isteğe bağlı)
• Düşük bakım: Sızdırmaz yataklarla titreşimsiz tasarım

• Ücretsiz proses danışmanlığı ve malzeme testi (alt tabakalarınızı bize gönderin)
• Yerinde kurulum, kalibrasyon ve operatör eğitimi
• Tüm bileşenlerde 12 ay garanti, ömür boyu teknik destek
• 48 saat içinde yedek parça bulunabilirliği (mandrenler, pompalar, motorlar)
• Video görüşmesi veya IoT izleme yoluyla uzaktan sorun giderme (özelleştirilebilir)

• Ambalaj: Anti-statik köpük + güçlendirilmiş kontrplak kutu (neme duyarlı bileşenler için kurutuculu)
• Nakliye: FOB Şangay / CIF deniz, hava veya demiryolu ile. Teslim süresi: Özelleştirme onayından sonra 15-30 gün (özel aynalar veya otomasyon entegrasyonu için daha uzun)

C: Çift istasyonlu bir makine, bir kontrol sistemini ve kapladığı alanı paylaşarak bir operatörün bir istasyonu yükleme/boşaltma işlemi sırasında diğerinin kaplama yapmasına olanak tanıyarak boşta kalma süresini ortadan kaldırır. Bu, daha düşük toplam yatırım, daha küçük laboratuvar alanı ve daha yüksek verim ile sonuçlanır.

C: Evet. Her istasyonda, çapraz kontaminasyon olmadan aynı anda farklı malzemeleri veya alt tabaka boyutlarını kaplamanıza olanak tanıyan bağımsız programlanabilir kontroller bulunur.

C: AynalarözelleştirilebilirAlt tabaka boyutlarınıza ve malzemenize göre. Yuvarlak levhalar (2"-12") için standart aynalar sunuyoruz veözel işlenmiş mandrenlerkare, dikdörtgen veya düzensiz alt tabakalar için.