Akıllı Malzeme Geri Kazanımlı, Minimal Kayıp İçin Özel Mandren Nozullu 24 Konumlu Spin Coating Sistemi

24 istasyonluk bu malzeme tasarrufu yapan spin kaplayıcı, yüksek verimli kaplama hatlarında fotoresist, poliamid veya öncü çözeltisi atıklarını en aza indirmek için tasarlanmıştır.Geleneksel spin kaplama makinelerinin aksine fazla sıvıyı atarlar., sistemimiz özelleştirilebilir kenar boncuk çıkarma (EBR) geri dönüşümünü, düşük ölü hacimli dağıtım hatlarını ve malzeme tüketimini% 25-40 azaltmak için önceden ıslak optimizasyon mantığını entegre ediyor.

24 istasyonun her biri, çözeltinin kullanımının bağımsız kapalı döngü izlenimi ile çalışır.sonra otomatik olarak alt katman başına dağıtım miktarlarını ayarlarÖzelleştirilebilir çözücü geri kazanma kasları ile birleştirildiğinde, sistem yeniden filtreleme veya imha için% 85'ten fazla kırılmamış kimyasal toplar ve sahip olma maliyetini önemli ölçüde düşürür.

Tüm 24 istasyon merkezi bir PLC + HMI tarafından kontrol edilir ve ünite istasyon başına tarifi özelleştirmeyi destekler - farklı malzemelere, dönüş eğrelere,ve aynı anda bitişik istasyonlarda tasarruf stratejileri.

Malzeme verimli bir kaplama hattına entegre edildiğinde, 24 istasyonluk spin kaplama sistemi şu ile birleştirilir:

1. Düşük ölü hacimli kimyasal dağıtım sistemi- Her birinde < 0,5 ml kalıntı bulunan 1 - 12 şişe
2. Ön ıslatma istasyonu- önceden ıslatılmış substratlar için geri dönüştürülmüş çözücü kullanır (taze malzeme tasarrufu)
3. 24 istasyonlu spin kaplama- malzeme tasarrufu kapları olan ana ünite
4. Solvent geri kazanımlı kenar boncuk çıkarıcı (EBR)-özelleştirilebilir kesim genişliği ve hızı
5. Kaplama sonrası pişirme ve soğutma- İsteğe bağlı
6. Kimyasal geri dönüşüm ünitesi- kritik olmayan katmanlar için filtrasyon + yeniden karıştırma
7. Solvent kondansiyon tuzağı olan egzoz gazı- Buharlanmış çözücüyi geri kazanır (> 70%).

• Yarı iletken fotoresist kaplama- maliyet açısından hassas fabrikalar (bellek, mantık, güç cihazları)
• Perovskit güneş panelleri- pahalı öncü çözümler (Pb, organik halogenürler)
• OLED/QLED delik enjeksiyon tabakası- Pahalı PEDOT:PSS veya polimer mürekkepler
• Ar-Ge pilot hatları- Malzeme miktarı sınırlı ise
• MEMS ve mikrofluidik- SU-8, BCB ve diğer pahalı polimerler
• Lityum pil kaplama- Separatör veya elektrot üzerindeki çamur tasarrufu
• Herhangi bir kaplama kimyasal maliyetinin > 100 $/L olduğu üretim hattı

Bu 24 istasyonlu spin kaplama makinesi en iyi hammadde ekonomisini elde etmek için son derece özelleştirilebilir:

• Çekim nozel tipi- iğne, kesik veya sprey -çözeltinin viskozisitesine uymak için özelleştirilebilir
• Boşaltma hacim mantığı- sabit, dinamik veya AI destekli minimum hacimli öğrenme
• Kenar boncuk çıkarma (EBR) modeli- konum, genişlik, hız veSolvent geri dönüşümü açık/kapalı
• Kavanoz drenajı tasarımı- yumuşak delik vs. kabuklu - geri kazanım oranını etkiler
• Solvent geri kazanım sistemi- Entegre damıtma veya basit toplama davul
• Kimyasal hat malzemesi- PP, PTFE veya paslanmaz çelik (asorpsiyon kaybını önler)
• Arka tarafı akıt- Özel düşük akışlı nozel ile isteğe bağlı
• Ön ıslak programı- çözücü türü, hacmi, dönüş hızı -İstasyon başına tamamen özelleştirilebilir
• Raporlama- haftalık vardiya başına malzeme kullanımı - özelleştirilebilir gösterge paneli

• Akıllı asgari hacim algılama- Tekdüzelik başarısız olana kadar otomatik olarak dağıtımı % 5 oranında azaltır.
• Kapalı döngü atık izleme- 1000 substrat başına kaydedilen malzemenin gerçek zamanlı görüntülenmesi
• Düşük ölü hacimli sıvı koleksiyonu- < 0. 3 ml toplam kalıntı (standart rakipler: 2-5 ml)
• EBR çözücü geri dönüşüm döngüsü- Kullanılmış kenar boncuk çözücü filtrelenmiş ve önceden ıslatmak için tekrar kullanılmıştır
• Bireysel istasyon kalibrasyonu- her bir nozzle hacmi ayrı ayrı kesilebilir
• Aşırı dağıtım uyarıları- kimyasal kullanım tarif eşiğini %15'ten fazla aşarsa hattı durdurur
• Vakum çak optimizasyonu- Kenar dışlama bölgesini en aza indirir, büyük altyapılarda malzeme tasarrufu sağlar
• Dökme tüpü yakalayıcı- endeks sırasında tek düşüş kaybını önler

• Ücretsiz malzeme tasarrufu denetimi- Şu anki atıklarınızı analiz edip tasarruf potansiyelinizi tahmin ediyoruz
• 24/7 uzaktan destek- Düzenleme ve tasarruf mantığı için
• Yerel kalibrasyon- İsteğe bağlı (2 gün), nozel hacmi ve EBR modeli dahil
• 12 aylık garanti- aylık tasarruf verilerini bizimle paylaşırsanız 24 aya kadar uzatılır
• Yedek parçalar- nozzles, valfler ve borular için hızlı gemi programı
• Yazılım güncellemesi- iki yıl boyunca ücretsiz olarak sağlanan yeni tasarruf algoritmaları